半導体用語集
マイクロ波 プラズマCVD装置
英語表記：microwave plasma enhanced CVD system
マイクロ波導波管と、プラズマ発生用ガス導入口を持つマイクロ波励起によるプラズマ放電室とからなるプラズマCVD装置。マイクロ波により発生したプラズマ流の下方で反応ガスを導入し、ヒータ内蔵のサセプタ上において低温で薄膜を形成する。プラズマ放電装置に直接反応ガスを導入する方法である。
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