半導体用語集
プラズマ分離型 マイクロ波 プラズマCVD装置
英語表記：after glow microwave plasma enhanced CVD system
マイクロ波によるプラズマ発生室と成膜室が分離され、その間を輸送路で結合したマイクロ波プラズマCVD装置。ウェーハが直接プラズマにさらされないため、プラズマの影響を受けない低ダメージ成膜の特徴を持つ。
関連製品
「プラズマ分離型 マイクロ波 プラズマCVD装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「プラズマ分離型 マイクロ波 プラズマCVD装置」に関連する用語が存在しません。
「プラズマ分離型 マイクロ波 プラズマCVD装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
