半導体用語集
排水回収処理装置
英語表記：waste water reclamation system
工場のユースポイントから流出する排水のうち、比較的汚れの少ない排水などを回収し、工場内で再利用することを目的に排水を処理するための装置。無機イオンを除去するためのイオン交換装置、逆浸透装置および有機物を除去するための活性炭吸着塔、紫外線酸化装置、生物処理装置等から構成される。
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