半導体用語集
ノッチ
英語表記：Notch
ウエハを製作するには直径寸法をそろえるために、引き上げた単結晶インゴットの外周を所定の寸法に研磨する。そののち、面方位を示すため検出した位置にV字型の切り欠けをいれる。これをノッチ（Vノッチとも）いう。ノッチはLSI製造で多数のウエハを処理する際に一定の方向にそろえたり、製造装置や検査装置にローディングする際に利用される。同じ目的でオリエンテーションフラットと呼ばれる直線の切り欠けも用いられている。8インチウェハまではノッチとオリエンテーションフラットの両方が使い分けられていたが12インチ（300mmφ）ではノッチにほぼ統一されている。
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