半導体用語集
光電子分光法
英語表記：PES: Photoelectron Spectroscopy
電磁波照射による光電子発生を利用した表面分析法である。光やX線のような電磁波（光子）を試料に照射すると，試料を構成する原子の軌道電子が空間に飛び出してくる。この電子を光電子という。光電子の運動エネルギーや角度分布を測定することにより，試料を構成する原子・分子の種類や化学状態・電子エネルギー準位に関する情報をえる。光電子の試料からの脱出深さは2nm程度と非常に浅いので表面の情報が選択的にえられる。励起光の種類によって，X線光電子分光法や真空紫外光電子分光法（紫外線光電子分光法）などがある。半導体表面解析や表面汚染分析の主要な方法の一つである。
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