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[XPS]X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団
最終更新日: 2025年01月17日

XPS:X-ray Photoelectron Spectroscopy

XPSは、X線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面(数nm程度の深さ)に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関する知見を得る手法です。化学結合状態に関する知見が得られるため、別名ESCA : Electron Spectroscopy for Chemical Analysis とも呼ばれています。

・固体表面(約2~8nm)の元素の定性・定量が可能
・化学結合状態分析が可能
・非破壊で分析が可能
・深さ方向分布(イオンスパッタを併用)の測定が可能
・絶縁物の測定が可能
・雰囲気制御下での測定が可能

基本情報

●適用例
・プラズマエッチング表面の化学状態・生成物(デポ)の評価
・ウエハ表面の洗浄効果(クリーニング)の確認
・Si酸化膜(SiON膜等)の酸化度および膜厚の評価
・金属膜(Cu等)の表面改質層の化学状態の確認
・二次電池材料の電極表面における組成・化学状態の調査
・SUS表面不動態層の評価
・太陽電池材料の組成・化学状態の調査
・有機EL膜の発光特性と化学状態の評価 など

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取扱企業

財団法人材料科学技術振興財団

業種:試験・分析・測定  所在地:東京都 世田谷区喜多見 1-18-6

製品開発・品質管理を強力サポートする、受託分析サービス。 公正中立な第三者機関として、最先端の科学技術の発展に貢献します。

エレクトロニクス分野・マテリアル分野・ライフサイエンス分野などの製品・材料・素材の分析を、100種以上の分析手法を取り揃えて承っております。
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