半導体用語集
形状
英語表記：etched feature
エッチングではその形状がきわめて重要であり、特に垂直性の形状とともに深い高アスペクト比構造の形成いかんが今後の微細加工技術の鍵となる。エッチング形状には、マスク端を中心に円弧を描きながらエッチングされ、その結果マスクの下にアンダカットまたはサイドエッチが侵入する等方性形状、特定の結晶は反応が進まないため、その結晶面が現われる異方性形状、アンダカットが入りながらもウェハ面に垂直方向にエッチング進行して生じる方向性形状、マスク寸法どおりに垂直の壁を持って、ウェハ面から下方にエッチングが進行して生じる垂直性形状がある。これらの形状形成とエッチング機構の間には密接な関係がある。
関連製品
転造ボールねじ
ケーエスエス株式会社
転造ロールによりねじ溝を加工した適正精度で安価なボールねじです。 精密ボールねじと互換性のあるつば付形状の製作が可能。 精密ボールねじからのコスト削減に訳に立ちます。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 半導体製造装置関連部品 › リニアモータ搬送システム
SMTノズル
有限会社オルテコーポレーション
【低価格】標準ノズル、及び先端形状をカスタマイズしたノズル。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 半導体製造装置関連部品 › 各種保護材料（消耗材料）
スタンピングツール (転写ピン)
有限会社オルテコーポレーション
対象となるダイサイズにおいて、最適な形状を長い設計経験の中からアドバイスします。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 半導体製造装置関連部品 › 各種保護材料（消耗材料）
交換式ゴムコレット（交換式ラバーチップ）
有限会社オルテコーポレーション
3つの形状から選べる、半導体チップの持ち帰りエラーがほぼ「ゼロ」になるまで改善
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 半導体製造装置関連部品 › 各種保護材料（消耗材料）
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
