半導体用語集
通信
英語表記：communication
プロセス装置や搬送機器と接続して情報交換する手段。SECSⅠ、ⅡやHSMS等がSEMIで規格化されている。
関連製品
EV-S型
株式会社荏原製作所
EV-S型はロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値をそのままに、省エネルギー・省スペース・軽量化を更に追及した独立設置対応用ルーツ形ドライ真空ポンプです。
ディスプレイ製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 貼り合わせ／ギャップ形成 › スペーサ散布
ESA型
株式会社荏原製作所
ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回転数自動制御機能・通信機能等の付加価値を搭載した独立設置型ドライ真空ポンプです。
ディスプレイ製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 貼り合わせ／ギャップ形成 › スペーサ散布
ESR型
株式会社荏原製作所
ESR型は、ロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値をそのままに、省エネルギー効果・省設置面積・軽量化を達成した独立設置対応用ルーツ形ドライ真空ポンプです。
ディスプレイ製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 貼り合わせ／ギャップ形成 › スペーサ散布
EST型
株式会社荏原製作所
EST型は、反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュー形ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付加価値、電力消費量の低減をも実現した独立設置型ドライ真空ポンプです。
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