半導体用語集
通信
英語表記：communication
プロセス装置や搬送機器と接続して情報交換する手段。SECSⅠ、ⅡやHSMS等がSEMIで規格化されている。
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グローバルネット株式会社
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自治体・省庁・研究機関・団体 › 応用物理学会
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