半導体用語集
親水性
英語表記：hydrophilicity
水分子との相互作用が大きく、親和性が大きい性質のこと。固体表面においては、水でぬれやすい性質をいう。水でぬれやすい固体表面は親水面または疎油面と呼ばれ、空気中での水の接触角で25°以下として区別される。静電的相互作用や水素結合などにより、水分子に対し、親和性を示す原子団のことを親水基といい、OH基やCOOH基などの極性基や解離基を含む原子団がその性質を示す。この親水基は疎水基（親油基）とともに、界面活性剤の分子を構成する。シリコンウェーハでは、自然酸化膜葉面などOH基で終端されている表面で親水性を示す。
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