半導体用語集
親水性表面
英語表記：hydrophilic surface
超純水がなじみ易いウェーハ表面に一滴超純水を垂らし、ウェーハと水滴の端部のなす角度（接触角という）が小さい状態をいう。一般的にはSi表面上に熱酸化膜、CVD酸化膜やAPM、HPM等の薬液処理をしたときに生じるケミカル酸化膜を形成させたときに親水性表面が得られる。
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