半導体用語集
二段RO装置
英語表記：double pass RO
第一段ROの浸透水を第二段ROに供給して処理し、比抵抗値0.5～5MΩ・cm程度の純水を得る装置。後段に再生設備が不要なイオン交換装置と組み合わせることが多い。
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