半導体用語集
シリンダボンベ 内部研磨クリーンボンベ
英語表記：cylinder ultra clean cylinder
高圧でガスを充填するための容器。内容積は10～47ℓ程度の容器が多く使用され、容器の材質にはマンガン鋼、アルミニウムまたはステンレス鋼などが用いられる。特に内面に鏡面研磨仕上げを施した内面研磨クリーンボンベは微粒子の発生が少なく、減圧時の脱ガスを貯蔵できる。
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