半導体用語集
ポリシングスラリーの分散性
英語表記：dispersibility of polishing slurry
微細な粒子が液体中に分散しているポリシングスラリーにおいて、経時的に粒子が凝集沈降またはゲル化するとき、スラリーは不安定という。逆に安定な場合には、スラリーは懸濁状態を保つ。ポリシングスラリーの分散性とは、粒子の凝集性などその安定性の指標の意味で使われる。スラリーが安定であるためには、第一に、粒子の自然沈降速度が無視できる程度に粒子径が小さいことが必要である。さらに、ブラウン運動により粒子が接近したとき、粒子同士が付着し再凝集するのを防げる何らかの作用も必要である。金属酸化物粒子では、その種類により固有のpH領域において正または負の表面電位（ゼータ電位）を示す。そこで、ファンデルワールス力などの引力による付着に打ち勝つ作用として、表面電位の静電的反発力を利用するために安定剤（pHコントロール剤）を添加することが多い。また、粒子表面に吸着した分散剤等の立体障害効果を利用することもある。
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