半導体用語集
ICP-MS
英語表記：inductively coupled plasma mass spectrometer
溶液中に含まれるpptレベルの微量金属を、多元素同時分析する分析計。試料を誘導結合プラズマ（ICP）に送り、高温加熱して蒸発イオン化させた後、四重極質量分析計により測定元素を質料別に検出する。最近では、サブpptレベルまで測定可能な高分解能の二重収束型ICPｰHRｰMSも使用されている。
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