半導体用語集
微量イオン
英語表記：trace level ion
超純水装置で除去しきれずに、超純水中に微量存在する、Na+、K⁺、Fe3+、Cu2+、Zn2+などの陽イオンおよびCl-などの陰イオン。イオン量としては、pptレベルの分析下限値が求められており、金属イオンの測定にはフレームレス原子吸光法、ICP-MSなどを用い、陰イオンの測定には、イオンクロマトグラフ法が用いられる。
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