半導体用語集
シリカ計
英語表記：silica analyzer
超純水中の微量イオン状シリカを自動的に測定する計器。モリブデン酸アンモニウムと酒石酸、シユウ酸などの有機酸および1-アミノ2-ナフト-ル4-スルホン酸との反応により生じるケイモリブデンブルーまたはモリブデン酸アンモニウムと硫酸および水酸化カリウムとの反応により生じるケイモリブデンイエローの発色を吸光度として測定する。測定範囲は0-10～50μgSiO2/ℓである。
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