半導体用語集
ダミーウェーハ
英語表記：dummy wafer
SEMI規格には、ダミーウェーハの定義はない。シリコンウェーハは、SEMI規格によれば、M1（プライムウェーハ）、M8（テストウェーハ）とM24（プレミァムウェーハ）に分かれる。ダミーウェーハを一定の形状と機械的強度を持つウェーハと定義するか、プライムウェーハ以外と定義するかで意味合いが異なる。前者とすると、ダミーウェーハは搬送系の調整や製造プロセスの安定化に用いられる。たとえばダミーウェーハは、拡散工程や減圧CVD工程などにおいて炉内のガス流や温度の均一性を確保するためになどに使用される。後者と定義すると、モニターウェーハ、テストウェーハならびにプレミァムウェーハをも含み、各プロセスの評価、管理やパラメータ確率のためなどにも使用される。一般的には、ダミーウェーハは前者として狭義される。
関連製品
ダミーウェーハ/モニターウェーハ
株式会社豊港
豊港化学では、前工程向け「モニターウェーハ」や、後工程向け「ダミーウェーハ」等を取扱しております。 下記のURLをご参照ください。 URL：https://toyokou.jp/semiconductor/Silicon-wafer
エレクトロニクス材料 › 半導体材料 › シリコン
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