半導体用語集
クローズド システム
英語表記：closed system
工場のユースポイントから流出する排水のすべてを回収処理し、工場からの放流水のない排水循環再利用システム。排水中の汚濁物質などは、イオン交換装置、逆浸透装置、蒸発濃縮装置などで濃縮され、濃縮液は固形物として処分される。
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