半導体用語集
液相エピタキシャル成長装置
英語表記：liquid phase epitaxial growth system
成長させる材料を過飽和に含んだ融液中に単結晶のシード（ウエーハ）を接触させ、両者の間に温度勾配をつけることによりウエーハ表面にエピタキシャル層を成長させる装置。
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