半導体用語集
フォトレジスト･スピンコーティング
英語表記：Photo-resist Spin Coating
スピンコーティングとは、ウエハ表面に感光性樹脂（フォトレジスト）を回転塗布する工程である。フォトレジストはやや粘性を持った液で、ウエハ中心部に滴下すると、数秒で前面に広がる。高速で回転すると、遠心力フォトレジストが飛んでウエハ上には薄く塗布される。フォトレジストの厚さは、0.1～0.5μm程度であるが、パターン微細化とともに薄くなってきたが、イオン注入のマスクとして、また耐エッチング性を持たせるため、あまり薄くはできない。次に、有機溶剤を蒸発させるため、約100℃のホットプレートで1分間ほどベークする。べーくは、パンを焼く意味でそれと同じ。
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