半導体用語集
クラスタ
英語表記：cluster
数個から数100個の原子、分子が房（クラスタ）のように凝集してできる原子、分子の集合体をいう。バルクより小さく、超微粒子や粒子より大きい集合体である。ファン・デル・ワールス力によって凝集した希ガスクラスタや、共有結合力によって凝集した希ガスクラスタや、共有結合力によって凝集した炭素クラスタが代表的な例である。クラスタは自由分子やイすンにはない特異な物性を行しており、 基礎科学の観点からだけでなく、機能性材料の探索という観点からも関心が高まっている。5角形と6角形の炭素骨格からなりサッカーポール型の構造を持つ炭素クラスタC60フラーレンなどがその代表である。C 60クラスタはあたかも一つの原子のように結晶格子を組み、分子性固体も形成できる。この固体にアルカリ金属をドープすると超伝導となることが明らかになっている。一方、電子や光などが照射されイオン化して電荷を帯びたクラスタは、特にクラスタ イオンという。イオン打ち込み、スパッタリング、薄膜成長などのプロセスで、電界によって加速したクラスタイオンを利用すると、優れたプロセス特 性がえられることが知られている。
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