半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

IC7500

キヤノンアネルバ株式会社

主に半導体メモリで使用する金属配線材料の薄膜形成に対応した、クラスター式スパッタリング装置

FC7100

キヤノンアネルバ株式会社

当社独自のスパッタリング技術によるダメージレス・メタルゲート量産用のφ300mm対応クラスター式スパッタリング装置

MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット

MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット