半導体用語集

クラスタ

英語表記:cluster

液体としての水が、水分子単独の集合体ではなく、水分子同士が水素結合によって、(H2O)nのような会合体を形成している状態。



関連製品

IC7500

キヤノンアネルバ株式会社

主に半導体メモリで使用する金属配線材料の薄膜形成に対応した、クラスター式スパッタリング装置

半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品 › 成膜装置 › スパッタリング装置


FC7100

キヤノンアネルバ株式会社

当社独自のスパッタリング技術によるダメージレス・メタルゲート量産用のφ300mm対応クラスター式スパッタリング装置

半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品 › 成膜装置 › スパッタリング装置


MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット

半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品 › 半導体製造装置関連部品 › 真空ロボット


MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品 › 半導体製造装置関連部品 › 真空ロボット


会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。