半導体用語集
ガスソース分子線エピタキシャル成長装置 MOMBE装置 CBE装置
英語表記：gas source molecular beam epitaxial growth system metal organic molecular beam epitaxial growth system chemical beam epitaxial system
有機金属CVD装置（MOCVD）と分子線エピタキシャル装置（MBE）のそれぞれの弱点を補い合い両者の特徴を生かした装置。薄膜成長用材料としてガスソースを用いるためMBEの優れた結晶制御性に加えて、選択成長が可能などMOCVDの特徴を備えている。
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