半導体用語集
アライメントマーク 合せマーク
英語表記：alignment mark
アラインメント用として、マスク（レチクル）やウェーハなどに形成されたマーク。マークの形状はマークの検出方法により異なり、アライメントターゲットとも呼ぶ。
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