半導体用語集
差動トランス終点検出法
英語表記：liner variable diferential tranceducer end point detection
グローバル平坦化CMPにおいて、層間絶縁膜または金属膜研磨の研磨量検出方法のひとつである。ウェーハキャリアとリテーナリングからなる研磨ヘッドの構成では、キャリアプレートに保持されたコアとリテーナリングに保持されたコイルとの相対変位をトランスにより検出し、研磨量を測定する。研磨布上面を基準にして、ウェーハの加工量を加工中計測することができる。また、膜種の違いにより、研磨ヘッドのスラスト方向の分力測定も可能となる。
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