半導体用語集
ステップカバレージ 回り込み率
英語表記：step coverrage
LSIなどの半導体素子薄膜の表面における微細な段差部での膜の被着状態によっては、配線の断線不良などに直接影響し、製品の歩留り、品質低下の原因となる。
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