半導体用語集
中空糸型限外ろ過膜 キャピラリ型限外ろ過膜
英語表記：hollow fiber type ultrafiltration
外径1mm程度の中空状の限外ろ過膜をモジュール化したもの。中空糸内部に供給液が供給され、ろ液を外部に取り出す内圧式限外ろ過法とこの逆に、中空糸外部に供給液が供給され、ろ液を内部に取り出す外圧式限外ろ過法がある。後者の方が二次側での微粒子の剥離が少なく、立ち上がり性能が良い。通水方式には濃縮水を排出するクロスフロー方式と、濃縮水を排出しない全量ろ過方式がある。限外ろ過膜の材質としては、ポリアクリロニトリル、ポリスルフォンなどのものが用いられる。また、ポリスルフォンやポリエーテルスルフォンなど耐熱性の高い材質を使用し、熱水殺菌や蒸気滅菌が可能な耐熱性限外ろ過膜も使用されている。
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