半導体用語集
イオンクロマトグラフ
英語表記：ion chromato graph
イオン交換体を固定相としてクロマト管内でイオン種成分を分離させ、電気伝導度検出器その他を用いて定性分析および定性分析および定量分析を行う機器。超純水中の不純物成分であるNa⁺、K⁺、Cl-、SiO2-、金属元素などをpptオーダまで検出できる。
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