半導体用語集
マスキングブレード レチクルブラインド
英語表記：masking blade reticle blind
レチクルパターンの露光範囲外を覆う遮光板。一般に照明光学系の一部を利用して遮光板の像をレチクル上に投影して露光範囲を制御している。
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