半導体用語集
高周波特性
英語表記：high frequency characteristic
情報処理の高速化、 携帯機器の普及によりLSIの高速化、 高周波化が進んでいる。DRAMや強誘電体メモリでセルアクセスがGHz帯にまで対応するのはまだ先であるが、MMICのようにキャパシタとして高周波に封応する誘電体の要求が大きくなっている。Si02などのように電子分極による電荷蓄積の場合はかなり高い周波数まで追従することができるが、PZTなどのように原子の移動による変位分極の場合は周波数が高くなるにつれて誘電率が下がるなどの現象が起こる。PZTの場合は数MHzまでは安定であるが、それ以上になると急激に誘電率が減少する。BSTは薄膜でも結晶性がよければ数10GHzから数100GHzまで誘電率の低下がほとんどないものを作成することが可能である。
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