FPD（flow pattern defect） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：flow pattern defect

as-grownのSiウェーハを長時間（30分程度）Seccoエッチングしたとき見られる、特異なエッチングパターン。Grown-in欠陥の一種と考えられている。