半導体用語集
FPD
英語表記：flow pattern defect
as-grownのSiウェーハを長時間（30分程度）Seccoエッチングしたとき見られる、特異なエッチングパターン。Grown-in欠陥の一種と考えられている。
関連製品
半導体、FPD装置向けFFU (Fan filter Unit)
株式会社世奉
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