半導体用語集
ダイヤモンドCVD
英語表記：diamond CVD
メタンなどの炭素化合物を原料として、ダイヤモンド薄膜を形成するCVD。プラズマCVD法、熱フィラメント法、イオンビームスパッタ法等が用いられる。高速・高温動作半導体素子への応用が期待されている。
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