半導体用語集
スクラブ洗浄
英語表記：scrubbing
ウェーハ等の物理的洗浄方法のひとつ。物理的洗浄方法にはスクラブ洗浄等の接触方式と超音波、ジェット噴流洗浄等の非接触方式がある。スクラブ洗浄ではウェーハ表面を洗浄液と共にスクラブ材で擦ることにより、付着したパーティクル等の汚染物を剥離させ除去する。直接接触であり除去効果は大きいが、傷をつけないことが特に要求されるため、スクラブ材としては軟質のスポンジや特殊な繊維ブラシ等が使用される。また、洗浄対象、洗浄機によりロール、ディスク、ペン型等の形状のスクラブ材が使い分けられる。CMP後洗浄では、残存付着している研磨スラリー等によるパーティクル、金属不純物等の除去が必要であり、純水でのスクラブ洗浄に加え薬液によるスクラブ洗浄が必要に応じて併用される。スクラブ材は消耗品であるので、安定した洗浄効果を得るためには定期的な交換が必要である。
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