半導体用語集
ブレード張り上げ
英語表記：tensioning the blade
IDブレードにおいて、ねじ締め式または油圧式等の張り上げ方法で、そのブレードに適した張り上げ量（半径の伸び）およびプレゼンテーションを確保すること。IDブレード内径の同心度を顕微鏡またはダイヤルゲージ等により、確認しながら張り上げる。
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