半導体用語集
アニール
英語表記：annealing
各種加熱源を用いて試料の熱処理を行うこと。半導体製造におけるアニールは、電気炉、ランプアニールが用いられることが多く、主に以下のような目的で行われる。(1)イオン注入などによって発生する基板格子欠陥の回復と注入種の活性化、(2)不純物が含まれたシリコン酸化膜のリフロー、（3)シリサイドなどの化合物の形成。シリサイド形成のアニールでは、シリサイドの材料となる金属膜が酸化されやすいため、酸化が起こらない雰囲気（N₂雰囲気やArなどの希ガス雰囲気または真空雰囲気）で行われる。
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