半導体用語集
アニール
英語表記：anneal
各種の加熱源を利用して、試料の熱処理を行うこと。加熱源の種類によりレーザアニール装置、フラッシュランプアニール装置、熱放射アニール装置、電気炉アニール装置に分けられる。
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