半導体用語集
ワイヤ
英語表記：wire
ワイヤソーにおいて使用する切断用工具。抗張力の大きいピアノ線が用いられる。シリコンの切断には線径0.16～0.2mm位がよく使われる。ソーワイヤとも呼ばれる。
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シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
PHT株式会社
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。
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