半導体用語集
グローバル
英語表記：global
周辺部除外領域を含まないウェーハ全面。本領域を対象としたフラットネスをグローバルフラットネスと呼ぶ。
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S-UHE
住友重機械イオンテクノロジー株式会社
高エネルギーイオン注入装置のグローバルスタンダード
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 不純物導入装置（拡散装置は成膜装置内） › 高エネルギーイオン注入装置
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