半導体用語集
デマウント装置 ウェーハ剥がし機
英語表記：demounting machine demount station
研磨終了後セラミックスやガラスプレートにワックスで貼り付けられたウエーハを薄刃物などで剥がし、コンベアやウオータシュータにてカセットへ自動的に収納する装置。
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