半導体用語集
プロセスレシピ
英語表記：process recipe
事前に準備され、再利用可能な命令、設定値あるいは補助変数でプロセス実行資源により制御され、材料から見たプロセス環境を設定するもの。レシピは実行毎あるいはプロセスサイクル毎に変更される場合もある。
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