半導体用語集
エレクトロンフラッドガン
英語表記：electron flood gun
イオン注入中に発生するウェーハの正電荷チャージアップを防止するため、低エネルギーの電子をウェーハに供給して中和させる機構。電子銃、エレクトロンシャワーともいう。
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