半導体用語集
一括式X線露光装置
英語表記：X-ray full wafer aligner
1回の露光でウェーハ1枚を処理するプロキシミティ方式のX線露光装置。ただし、重ね合せ精度は、ステップ式のX線露光方式に比べて劣る。
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