半導体用語集
片面ポリシング機
英語表記：single side polishing machine
マウント板と呼ばれる円板にウェーハを固定し研磨布を貼った回転する定盤にマウント板を押しつけて研磨する装置。呼称として研磨定盤の直径をインチで表示するものとマウント板の直径を表示するものとがある。
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