半導体用語集
全反射蛍光X線分析法 TXRF TRXRF
英語表記：total reflection X-ray fluorescence analysis
シリコンウエーハのような平坦な試料に浅い角度でX線を入射させ、試料表面上で全反射させることにより、試料方面の原子のみを励起させ、試料表面雄の不純物を分析する方法。バックグラウンドの信号が少ない分、区純度な化学反りを濃縮することで、より高感度な分析が可能となる。
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