半導体用語集
Overlay
英語表記：Overlay
ステッパーは、時にはアライナー（Aligner）と呼ばれるように、下地のパターンとの位置合わせが極めて重要である。この合わせのことをOverlayと呼んでいる。通常、20nmのパターンルームのLSIでは、合わせ制度は、5nm程度が必要であるが、Double Patterningの場合は、わずかの合わせズレが、パターン間隔に大きな影響を与えるので、2nm程度の合わせ精度を目標に装置開発が行われている。
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