半導体用語集
ソークタイム
英語表記：soak time
アニール装置や真空蒸着装置の加熱対象物を蒸発しない温度で維持する時間。アニールでは所望の温度を維持する時間、真空蒸着法では予備加熱及び昇温脱ガス時間をいう。
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