半導体用語集
ウェーハプローバ プローバ
英語表記:wafer prober
IC、LSI等が形成されたウェーハ上のダイの電気的特性を試験するために、各ダイのパッドにプローブカードのニードル等を順次自動的に接触させる装置。接続された外部のテストシステムにより各ダイの電気的試験を可能とするとともに、不良と判断されたダイをインカ等で識別可能とする装置。
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