半導体用語集
最大チャージ量
英語表記：Charge size crucible capacity
結晶製造装置の大きさを表す指標。単結晶製造装置に収容可能なるつぼサイズにおいてチャージ可能な最大重量で、るつぼ容積のおおよそ70％程度になる。
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