半導体用語集
アドヒージョンユニット
英語表記：adhesion unit
ウェハとレジストバターンの密着性を向上させるためにレジスト塗布直前に行われる処理。密閉された専用の処理チャンパ内にウェハを載置し、蒸気状のHMDS (へキサメチルジシラサン)をウェハ上に噴霧する処理。一般的には、ウェハ表面の疎水化が施され、パターン密着性に寄与するといわれている。HMDS : (CH3)3SiN-HSi (CH3) 3
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