半導体用語集
静圧軸受
英語表記：static pressure bearing
可動体と固定体との間隔に必要な圧力を加えた流体を送り込み、可動体を中立浮上させ、回転またはスライドさせる軸受。流体の替わりに空気を用いると空気軸受という。動圧軸受に比べて負荷容量が大きい。
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